當(dāng)前,傳感器技術(shù)的主要發(fā)展動(dòng)向,一是開(kāi)展基礎(chǔ)研究,發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象,開(kāi)發(fā)傳感器的新材料和新工藝;二是實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化與智能化。
1. 發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象,開(kāi)發(fā)新材料,——新現(xiàn)象、新原理、新材料是發(fā)展傳感器技術(shù),研究新型傳感器的重要基礎(chǔ),每一種新原理、新材料的發(fā)現(xiàn)都會(huì)伴隨著新的傳感器種類(lèi)誕生。
2. 集成化,多功能化——向敏感功能裝置發(fā)展 傳感器的集成化,近期積極地應(yīng)用了半導(dǎo)體集成電路技術(shù)及其開(kāi)發(fā)思想用于傳感器制造。如采用微細(xì)加工技術(shù)MEMS(Microelectro-Mechanical System)制作微型傳感器;采用厚膜和薄膜技術(shù)制作傳感器等。
3. 向未開(kāi)發(fā)的領(lǐng)域挑戰(zhàn)——生物傳感器 到目前為止,正大力研究。開(kāi)發(fā)的傳感器大多為物理傳感器,今后應(yīng)積極開(kāi)發(fā)研究化學(xué)傳感器和生物傳感器。特別是智能機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展,需要研制各種模擬人的感覺(jué) 的傳感器,如已有的機(jī)器人力覺(jué)、觸覺(jué)傳感器、味覺(jué)傳感器等。
4. 智能傳感器(Smart sensor)——具有判斷能力、學(xué)習(xí)能力的傳感器。事實(shí)上是一種帶微處理器的傳感器,它具有檢測(cè)、判斷和信息處理功能。